二手 LAM RESEARCH Exelan #9235218 待售

LAM RESEARCH Exelan是一款为半导体材料的蚀刻和粉刷而设计的蚀刻/粉刷设备。它具有多种特点，使蚀刻和灰化过程高效、精确。该系统由气体面板、等离子体源、控制器和真空室组成。Exelan气体面板设计用于精确控制用于蚀刻和灰化过程的反应性气体的供应和组成。它配有各种连接器、阀门、管道和调节器，以便在蚀刻和灰化应用中利用多种气体。LAM RESEARCH Exelan等离子体源的设计目的是使材料基质的温度升高到几千摄氏度。这种高温环境允许反应性气体分子通过热蚀刻或离子辅助蚀刻从基质中去除目标材料。Exelan控制器提供对蚀刻和灰化过程的精确控制和监控。它配备了功能强大的可编程逻辑控制器或PLC，允许过程自动化，允许低人工成本和增加吞吐量。控制器还包括一个图形用户界面，以便于设置和控制蚀刻和灰化过程。将LAM RESEARCH Exelan蚀刻机/asher单元的真空室封闭，以产生真空环境，降低污染风险，提高工艺产量。它还配有各种泵送和辅助系统，以确保过程中的最佳真空压力和温度控制。Exelan蚀刻机/asher机因其先进的特性、精湛的占空比能力、精密的蚀刻工艺以及极高的可靠性，是半导体材料蚀刻和灰化的理想工具。对于寻求经济高效的方式来制造质量和可靠性最高的半导体产品的公司来说，这也是一个绝佳的选择。