二手 LAM RESEARCH Extrima 300NX #9246538 待售

LAM RESEARCH Extrima 300NX是一种先进的等离子体蚀刻器/asher,非常适合在工业和研究环境中执行一系列任务。它具有6 × 10-7 torr范围的底压和高达0.1 torr的可调前向压力，允许对蚀刻过程进行极其精确的控制。集成软件界面允许实时参数配方和即时调整蚀刻属性。拥有专利专有设计、Triode射频源以及0到200瓦的功率范围，该设备能够以低成本、易于操作的方式提供高质量的结果。它有一个高容量的4英寸石英管，宽40毫米的波纹管设计用来消除污染物，并且能够在批量或单片模式下蚀刻。该300NX具有快速的工艺循环时间，带有可编程转盘，允许针对特定需求优化蚀刻工艺。基板支架允许对基板进行精确的定位和处理，这对于不同的蚀刻工艺来说很容易改变。该系统配备了一系列为无忧操作而设计的安全功能。它可以安装在左右装载机上，以便于装载和卸载基板，并且设计用于将加工气体保持在单元内，以便安全和清洁的环境。蚀刻器还包括气体流动监控器和警报，以及惰性气体净化机和过滤器，有助于保护周围环境免受任何有毒或危险颗粒的伤害。Extrima 300NX具有这些高级功能,旨在满足各种材料蚀刻操作的最苛刻需求。