二手 LAM RESEARCH Extrima 3100 #293820193 待售

LAM RESEARCH Extrima 3100是一款高性能、先进的蚀刻器/asher，是业界市场上最可靠、效率最高的等离子体蚀刻系统之一。通过高压技术和精确控制，Extrima 3100提供了优越的蚀刻质量、改进的均匀性和更高的晶圆产量。蚀刻器/asher包含一系列功能,可确保在关键应用程序中进行可靠且可重复的操作。该腔室设计用于短周期时间，与传统方法相比，晶圆吞吐量提高了40%。不锈钢室壁涂有多种材料组合，以确保蚀刻工艺的均匀性和准确性。LAM RESEARCH Extrima 3100的硬件由6个电子回旋共振（ECR）源组成,能够准确高效地传递射频功率。它还拥有先进的基板气体喷射设备（ASGIS）提供精确的蚀刻和清洁气体的溷合物。该系统的核心是自动静电卡盘装置，它可以牢固地握住晶片，达到最佳清洁效果。Extrima 3100的软件组件便于精确的过程控制,包括气体溷合器、过程监控和反馈控制。这些特性使操作员能够调整等离子体配方的参数，如压力、气体溷合物、补给气体、废气和温度。该机器还对腔室进行环境监测，以确保过程的准确性，并检测未建立的变量。LAM RESEARCH Extrima 3100设计用于处理50 mm至300 mm的晶片,非常适合任何关键的半导体蚀刻或蚀刻/清洁工艺。其先进的建造质量使其得以在平板显示器、MEMS、MEMS封装、LED、存储装置制造等半导体晶圆制造技术等多个行业中得到应用。该工具兼容且易于与众多内部工具集成,从而为自动化生产线提供最大的灵活性。