二手 LAM RESEARCH Extrima 3100 #9270874 待售

LAM RESEARCH Extrima 3100是一款为半导体蚀刻和基板制备应用而设计的高级蚀刻器/asher。这台多用途的机器通过一系列功能提供卓越的蚀刻性能,从而实现高效的晶圆处理。机器配备了一组可靠的过程参数，可以根据手头的应用进行定制。它具有高精度直流偏置电源，用于精密蚀刻和最大程度的工艺控制。双区域线性蚀刻系统对高通量蚀刻具有较快的扫描速度。蚀刻室为陶瓷衬里，用于均匀蚀刻和基材保护。此外，它还配备了集成电离器，在处理过程中中和静电荷。该机采用自动化过程控制和低功耗功能进行设计,以最小的能耗实现最佳蚀刻性能。它还提供可靠的性能在一个紧凑的设计和触摸屏控制面板直观操作。Extrima 3100除了具有核心蚀刻/灰化功能外,还提供厚度测量、晶体分析和PVD分析等分析和诊断功能。还配备了用于改进操作和维护的安全功能。LAM RESEARCH Extrima 3100是一款专门为半导体行业设计的高级蚀刻器/asher，提供卓越的蚀刻性能。其工艺参数的范围，综合分析和诊断的特点，使晶圆处理效率高，具有高度的准确性和可靠性。它是快速、精确的蚀刻和基材制备应用的理想机器。