二手 LAM RESEARCH Extrima 3100 #9270994 待售

LAM RESEARCH Extrima 3100是一款为半导体制造而设计的最先进的蚀刻/asher设备。该系统使用基于真空的工艺将图样或特征蚀刻到基材中。蚀刻过程利用等离子体、反应性离子和挥发性气体来创建不同几何形状、大小和深度的图样。Extrima 3100单元常被称为介电蚀刻器，针对硬掩模（HM）等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）、干蚀刻和深反应性离子蚀刻（DRIE）等工艺进行优化。该机采用多源直流电源供电,可提供最大25kW功率。它旨在提供高吞吐量、出色的统一性、严格的过程控制和快速的过程运行时间。LAM RESEARCH Extrima 3100配备了多种特性和功能，使其成为半导体制造的一个有吸引力的选择。它提供了一系列过程控制功能，使用户能够准确、轻松地编程和调整过程参数，如RF功率、RF频率、气体压力、定时和过程压力。该工具还能够进行复杂的流程分析，例如收集数据点以提供详细的流程结果。此外,该资产还可以生成全面的晶圆图和工艺历史报告。Extrima 3100采用了一种创新的安全模式，旨在保护用户免受潜在危害。其安全设备包括减压门、安全联锁、温度、流量和气体监控器，以及紧急停止按钮。该系统还可以配置不可蒸发吸气器（NEG）泵隔离阀，以进一步限制潜在危险。总体而言,LAM RESEARCH Extrima 3100是一个功能强大且可靠的蚀刻器/asher单元。其特点和功能使其成为半导体制造的完美解决方桉。它的精确度、安全性和易用性使得它成为任何制造工艺都不可否认的有吸引力的选择。