二手 LAM RESEARCH Extrima 3100 #9314231 待售

LAM RESEARCH Extima 3100是一款蚀刻器/asher,旨在为各种微加工半导体和MEMS元件提供精确、高质量的蚀刻和灰化工艺。该设备提供了实现均匀覆盖和细线分辨率所必需的先进能力，从而能够生产专用微电子器件。它采用先进的材料来提高吞吐量和更大的蚀刻深度。该系统还符合清洁和可重复处理结果所需的严格规格。Extima 3100具有先进的定向蚀刻装置,具有气体溷合比控制器和多重速度选择功能,使用户能够快速、准确、重复地蚀刻和粉刷各种材料。它还具有高精度的端点检测机，可以对蚀刻过程进行极其精确的控制。使用此工具,可以轻松监控和优化蚀刻时间和所需的特征大小。此外，资产的控制软件使其能够在各种模式下运行，包括过程脉冲和偏置射频蚀刻。LAM RESEARCH Extima 3100 蚀刻器/asher包括一个自动补充模型，以维持可重复过程的最佳腔室条件。由于该设备不断循环和补充加工气体，因此无需人工添加，有助于延长过程维护间隔。此外,它的集成工具设置程序不需要很长的安装时间,从而实现了一致的生产吞吐量。连同其强大的软件套件，系统提供了一系列用户定义的流程和完整的SPC（Statistical Process Control）支持。这为用户提供了完整和可定制的过程控制,包括配方生成和完整的记录保存功能。总而言之，LAM RESEARCH Extima 3100 蚀刻器/asher为复杂微电子器件的制造提供了一个强大的单元。其先进的蚀刻能力和广泛的控制选项为产生一致、高质量的结果提供了必要的精确度和可重复性。其自动补给机简化了维护和设置，而其易于使用的软件套件则有助于确保可重复、无错误的流程。最后,凭借其完整的SPC和配方生成功能,Extima 3100为用户提供了提供专用高端设备所需的灵活性和控制。