二手 LAM RESEARCH Flex 45 #293587510 待售
网址复制成功!
LAM RESEARCH Flex 45是一种单晶片蚀刻和asher工具,可提供广泛的过程控制和灵活性。具有业界领先的腔室设计,包括可编程驱动和主动流体控制等专利技术,先进的工艺均匀性,优越的粒子控制。这使得它非常适合MEMS、纳米加工和其他需要精密蚀刻和灰化工艺的应用。其内部架构设计用于单晶片并行蚀刻和灰化,实现了高吞吐量和高级工艺一致性。这使得它成为各种半导体应用中蚀刻和灰化应用的绝佳选择。Flex 45具有一个大面积腔室,可在单个平台中支持各种流程。它配备了涡轮增压器设计以及一系列mV和nA精密蚀刻和灰化技术,这些技术经过优化以处理各种应用。采用主动流量控制系统,通过自动调节流量和压力,保证了蚀刻和灰化过程的高均匀性。此外,其工艺控制技术降低了总体拥有成本,为蚀刻和灰化应用提供了先进的工艺控制和统一性。这种蚀刻和灰化器还提供卓越的颗粒控制与先进的过滤器解决方桉,保证清洁,无颗粒蚀刻和灰化室。它采用高级工程功能(如自我诊断和远程监控),可确保最佳正常运行时间和可靠性能。它还具有广泛的安全功能,包括传感器和联锁装置,以防止晶圆和工艺部件受到损坏。总体而言,LAM RESEARCH Flex 45是一款真正独特的蚀刻和粉碎机,具有多种功能,可确保在一系列应用程序中的卓越质量和可靠性能。Flex 45结合先进的工艺控制和均匀性、卓越的颗粒控制以及出色的可靠性和正常运行时间,是需要精密蚀刻和灰化的应用的理想选择。
还没有评论