二手 LAM RESEARCH Flex 45 #293589578 待售

LAM RESEARCH Flex 45（蚀刻器/asher）是一款用于半导体工业的先进蚀刻设备。这种刚性的多功能工具为执行复杂的蚀刻操作提供了必要的灵活性。Flex 45利用高压电、内置工艺、高精度和坚固的材料,能够产生高质量的结果。LAM RESEARCH Flex 45的设计注重灵活性和工艺能力。它配备了用户可选择的蚀刻室尺寸，最大可达45厘米，使用户能够根据自己的特殊需求定制其功能。根据其应用的大小和复杂性，可以使用相同大小的多个会议厅或多个会议厅的组合来执行手头的任务。该工具还配备了最新的射频脉冲技术，使用户能够调整工艺参数，并从各种蚀刻配方中进行选择，以适应不同的材料和复杂的蚀刻操作。此外，利用一台发电机处理多个腔室，不同蚀刻应用程序不需要额外的硬件或软件。为确保精度,Flex 45采用了全机械的"开环"设计,确保了可重现的蚀刻工艺。加上集成的CO2激光源，这会导致较小的工艺变化，减少可能的误差，并增加每个蚀刻配方的吞吐量。这也使得可以将DRIE（深层反应性离子蚀刻）等关键特征与蚀刻回或化学机械平面化等化学应用结合起来进行蚀刻。LAM RESEARCH Flex 45是一种可靠的蚀刻系统，旨在长期可靠地运行。此外,还提供许多客户服务和支持选项,以确保系统及其硬件和软件的维护。总之,Flex 45是一款先进的蚀刻器/asher,它提供了最佳的灵活性、精度和可靠性,同时保持了所需的高质量结果。