二手 LAM RESEARCH Flex 45 #293652872 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款高精度的蚀刻器/asher，设计用于对复杂的基板进行超精确、可靠的处理以及在蚀刻和灰化领域的应用。利用先进的运动和温度控制技术,为微电子行业的关键应用提供了卓越的过程均匀性、高吞吐量和严格的特征尺寸控制。Flex 45配备了全场、真正的各向同性、电容耦合等离子体（CCP）蚀刻能力，配合微机械微电极技术提供极高分辨率的蚀刻性能。通过更好地控制过程中的能量耦合和功率密度,LAM RESEARCH Flex 45可以最小化处理时间,并最大限度地减少由于不均匀的等离子体暴露而造成的不良副作用,从而导致处理不一致。此外,Flex 45还通过强大的控制器提供高级过程控制,该控制器允许实时过程监控,以便快速调整曝光、温度和其他参数。它采用坚固的结构框架和不锈钢腔室坚固耐用，旨在在广泛的工艺条件下提供出色的热和机械稳定性。该系统还具有先进的惰性气体管理系统，可提供非常精确和可重复的配方控制气体管理。这确保了可靠和高效的等离子体工艺，并对工艺参数进行严格控制，以用于高产蚀刻或灰化生产。最后,LAM RESEARCH Flex 45包括一个全面的接口和通信终端（ICT）,它有助于管理自动化过程控制和数据采集的各个方面。此终端有助于减少编程时间和工作量,并允许操作员轻松访问配方和设置参数。它具有错误监视、参数记录和变量显示功能,以及直观的用户界面。这使得它成为精密蚀刻和灰化过程的强大工具。