二手 LAM RESEARCH Flex 45 #293809879 待售
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ID: 293809879
优质的: 2007, 2009
Etchers
(1) Equipment Front-End Module (EFEM)
(1) Transport Module (TM)
(1) Gate Interface Box (GIB)
(3) C/Bs
(3) Gas boxes
(3) RF carts
(1) Air Conditioning (AC) rack
(1) Remote Process Data Box (RPDB)
(3) Load ports
Covers
(2) Parts boxes
2007, 2009 vintage.
LAM RESEARCH Flex 45是一种高度先进的蚀刻/asher工具，主要用于先进的半导体器件制造。Flex 45在超小型软件包中提供高吞吐量蚀刻和灰度处理功能,可增强流程灵活性,同时最大限度地减少空间需求。LAM RESEARCH Flex 45具备大体积并行处理等先进设备功能,可适应广泛的薄膜蚀刻和灰化应用。Flex 45通过其动态过程参数支持各种晶片的均匀性。这些参数可以通过操作员控制台的用户友好界面进行调整，包括基板调谐、气流控制、源电源等。随着多频电源的可用性，选择适合任何给定信道或晶圆的电源的能力提高了吞吐量和质量。LAM RESEARCH Flex 45除了具有令人印象深刻的蚀刻和灰度处理功能外,还提供了操作过程中必不可少的高级安全功能。它有一个可自由编程的安全互锁和紧急关机，如果操作温度超过某个用户定义的阈值，就会进行。这确保了对人员、材料和设备的保护。为了获得最佳效果,适当的培训和维护对于Flex 45的正常运行至关重要。全面的培训程序为用户提供处理任何操作或流程相关问题所需的工具和知识。作为其维护方桉的一部分，每周进行一次实地视察，以确保适当运作并防止任何意外停机。最后，LAM RESEARCH Flex 45是一款非常先进的蚀刻器/asher，非常适合半导体行业的应用。Flex 45由于其多频电源、调谐工艺参数的能力以及安全特性，提供了高吞吐量和高质量的效果。除了适当的培训和维护外,LAM RESEARCH Flex 45是一种可靠且易于使用的工具,是任何现代半导体器件制造过程取得成功的基础。
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