二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9241255 待售

LAM RESEARCH Flex 45 Asher是一种高精度的工具，用于进行湿蚀刻和干蚀刻过程。该设备的设计可提供精确的蚀刻和清洁功能,并具有精确的纬度控制和灵活性。Flex 45的独特特点包括功能强大、自成一体的离子束蚀刻室、广泛的蚀刻和清洁工艺，以及处理软硬材料的能力。该设备既能进行线性和旋转位移控制，又能执行多步骤过程。LAM RESEARCH Flex 45系统包括一个包含低温等离子体源的真空密室，用于蚀刻和清洁基板。这种等离子体源设计用于牺牲和选择性蚀刻，以及干洗能力。Flex 45还包含一个机械臂，能够将基板移入和移出加工位置，以及精确的方向和角度定位。除了机械臂，LAM RESEARCH Flex 45还包含一个过程控制单元，配有基于PC的软件、数据记录器和气动计时器，用于精确定时和控制蚀刻过程。Flex 45的灵活性被证明是主要卖点,因为该工具旨在对各种材料进行各种蚀刻过程。LAM RESEARCH Flex 45能够通过单步和多步工艺进行RIE和DRIE蚀刻以及带状蚀刻。另外，Flex 45可以提供离子束蚀刻工艺，这对于难以蚀刻的材料，例如氮化铝来说是一种理想的技术。除了这些专门的蚀刻工艺之外，LAM RESEARCH Flex 45还包括湿蚀刻和清洁工艺，以及广泛的预处理周期，以帮助确保最高级别的工艺可重复性和准确性。Flex 45直观的操作机器使用户能够控制成功的蚀刻或清洗过程所必需的几乎所有参数。全自动过程控制工具为LAM RESEARCH Flex 45提供了自我监控的能力,确保过程的每个步骤都能正确高效地执行。Flex 45拥有大量可用的工艺及其先进的自动化功能,是任何蚀刻或清洁任务的理想工具。