二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9260520 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款高精度的蚀刻器/asher，非常适合精密晶圆处理。它是专门为提高生产力和多功能性而开发的。该工具提供了一个连续移动的过程,导致高吞吐量和短周期时间。Flex 45在单个工具中结合了蚀刻和灰分过程,在高吞吐量下提供了卓越的结果。LAM RESEARCH Flex 45采用单室工艺,可以同时进行蚀刻和灰分工艺。将蚀刻工艺和灰分工艺结合在同一腔室中，可实现更高质量的产品，这些产品需要更少的步骤来制造。这种高精度的蚀刻和灰分工艺旨在最大限度地提高吞吐量、最大限度地减少周期时间并最大限度地减少维护。Flex 45的设计允许多个晶片并行处理，而无需将晶片从一个工作站传输到另一个工作站。LAM RESEARCH Flex 45的设计包括两个向相反方向移动的石英板系统。这种双层设备有助于通过最小化晶圆变形和错位来提高可重复性。压板系统也有助于最小化粒子生成。Flex 45 蚀刻器/asher配备了先进的过程控制和监控软件。此软件由板载实时数据收集单元组成,允许自动或手动调整参数以优化流程条件。该软件还包括一台车载物种监测机器，以帮助评估不同的蚀刻和灰分工艺如何受到不同工艺条件的影响。LAM RESEARCH Flex 45旨在安全处理高热负荷，如深晶圆蚀刻。它还支持广泛的材料，包括不同类型的陶瓷、铝、钛。它还能够处理上面有沉积物的表面，如金属、电介质和电致发光材料。Flex 45能够提供具有快速吞吐量的可重复、均匀的蚀刻/灰化过程。它还具有强大的工具设计,可最大限度地减少维护和提高生产率。