二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9281284 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款用于各种半导体应用的PECVD 蚀刻器/asher。这种高度先进的蚀刻器/asher提供高分辨率的工艺能力,能够精确控制尺寸、均匀性和各向异性。Flex 45的腔室设计具有平坦的底部排源隔离和高真空室。腔室设计为减少工艺漂移，优化基板均匀性，使处理器达到更高的性能水平。LAM RESEARCH Flex 45提供了一系列功能和功能,可根据每个用户的确切需求进行定制。可调基板加热器和先进质量流控制器（MFC）可实现双层、多晶硅工艺。这使得该工艺能够优化，以获得最小的光致抗蚀剂出血和最小的掺杂吸收的高质量结果。内置预防性维护功能有助于减少停机时间,并确保系统定期进行维护,以防止出现流程错误。Flex 45还具有多种安全功能，如打开腔室时的自动过程关闭、紧急门关闭和温度设定值限制。这样可确保最小化流程错误并确保用户安全。LAM RESEARCH Flex 45由高端半导体控制模块（SCM）提供动力。此高级控制器可实时监视和调整蚀刻配方,同时提供高级报告功能和蚀刻过程的可追踪性。Flex 45旨在提供最大吞吐量和卓越的统一性,最小的停机时间和卓越的工艺质量。它非常适合大批量生产半导体器件,为各种技术提供经济高效且可靠的结果。