二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9298282 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款高性能、高生产率的蚀刻/粉碎机,旨在满足各种材料和工艺的生产要求。这种多功能设备具有多波形射频功率、深层无功离子蚀刻（DRIE）和先进工艺控制等先进技术。Flex 45利用极紫外蒙版和高分辨率电子束光刻技术在晶圆上创建亚微米分辨率的图样。凭借其先进的工艺控制硬件，LAM RESEARCH Flex 45还允许用户精确控制影响蚀刻或灰化过程的参数。该系统还提供多种气体功能以及快速执行单个晶圆或多个晶圆配方的能力。Flex 45单元以其可重复性和稳定性而闻名,能够在很长一段时间内实现统一的过程结果。这是由事实证明，机器保持良好的重复性和分布过程副产品。该工具的整体一致性还有助于减少因流程差异而导致的线路停机时间。由于LAM RESEARCH的技术知识和对产品创新的热情,LAM RESEARCH Flex 45提供了先进的自动化功能,可提高蚀刻/灰化过程的效率。其突出的功能包括选择性区域清洁（SAC）和动能管理（KEM）,后者帮助用户更快、更有效地清洁蚀刻区域,并帮助减少因工具与工具交互而造成的意外灾难数量。Flex 45具有鲁棒性和多功能性。这款蚀刻/灰烬能够在不同的基板上进行各种操作，并且设计为满足严格的性能要求。它的高级功能使用户能够在比传统工艺更短的时间内生产复杂的产品。此资产还提供了高水平的流程质量控制,最大限度地减少了停机时间并确保了一致的流程。