二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9298284 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款蚀刻器/asher，旨在为各种用途的各种材料的蚀刻和灰分处理提供高效可靠的平台。Flex 45提供两室配置,两室均针对蚀刻和灰烬操作进行了优化。它的第一个腔室利用低压、高真空环境在蚀刻前清洁污染物晶片。第二室经过优化，为蚀刻/灰分操作提供等离子体控制和均匀性。LAM RESEARCH Flex 45提供了广泛的功能,可在多个晶圆尺寸上实现精确、均匀的蚀刻和灰分结果。特别是,高级自动化协议使用户能够使用直观的菜单驱动软件快速轻松地调整蚀刻配方。Flex 45还包括各种传感器和显示器,以确保适当维护各种条件以保证最高性能。LAM RESEARCH Flex 45配备了广泛的加工元件和材料，具有柔性蚀刻能力，包括高功率射频电源、垂直和水平腔室的多重卡盘设计，以及众多气体输送系统。这些元件结合了Flex 45专有的双区蚀刻/灰烬控制系统，可用于调制蚀刻时间、气压和温度，以优化针对特定材料和应用的蚀刻和灰烬工艺。LAM RESEARCH Flex 45还提供一系列安全功能,以保护人员免受任何潜在危害。这些功能包括在发生警报时的自动紧急关闭能力、监测过程气体、真空水平和温度的能力，以及限制进入特定区域的综合出入控制系统。Flex 45结合了精密蚀刻/灰分技术、先进的自动化功能和强大的安全功能,是快速高效处理的理想平台。LAM RESEARCH Flex 45是一款可靠灵活的蚀刻器/asher,可为用户提供可重复的结果,并在多种材料中提供最高级别的性能。