二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9308360 待售
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LAM RESEARCH Flex 45是一款高性能、全自动的化学蚀刻器/asher设备,专为一系列高级应用而设计。Flex 45是一种先进的基于多功能、过程可编程技术的蚀刻器/asher系统。它设计用于各种蚀刻/灰化应用程序的最大蚀刻均匀性、灵活性和生产率。即使在处理日益复杂和敏感的3D结构时,该设备也能实现卓越的精度和设备与设备之间的一致性。机器配备了一整套强大的过程和安全控制功能，允许用户优化他们想要的蚀刻/灰化结果。它采用获得专利的微处理器和专有软件设计,为过程维护和控制提供快速、准确的反馈。LAM RESEARCH Flex 45为高精度、高通量、高品质晶圆表面转换而设计。Flex 45是一种高效、低成本的工具,可提供高通量和高精度的蚀刻/灰分结果,而对化学品的使用要求更低。该资产设计允许低颗粒流速、低背景金属污染水平以及易于从化学模式转换为气体模式。它具有极快的转换时间、可手动调节的沉积速率和宽广的过程窗口。该模型提供了处理大范围晶圆尺寸和材料的灵活性，包括单面和双面、高密度互连、SiC、GaN和其他材料。LAM RESEARCH Flex 45根据应用提供一系列高性能、定制蚀刻/灰分工艺模块，包括CMP浆料、PECVD和ALD。Flex 45还提供先进的清洁和蚀刻/灰化解决方桉。专门的非接触式自洁技术有助于减少污染并提高设备性能。设备的自动化过程控制和维护功能简化了操作,并最大程度地减少了停机时间,从而确保了最大的可用性和成本节约。LAM RESEARCH Flex 45非常适合高级蚀刻/灰化应用。它是一个高性能、全自动的化学蚀刻器/asher系统,提供了一整套功能,可实现可靠的高精度、高通量蚀刻/ashing结果。Flex 45旨在提供最大的灵活性、统一性和生产率,同时降低化学品和材料的成本和浪费。
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