二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9314597 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款多功能的蚀刻器/灰化器,旨在满足关键设备结构最苛刻的蚀刻和灰化要求。Flex 45能够在平面和3维表面上进行蚀刻和灰化,其性能优于传统蚀刻器。LAM RESEARCH Flex 45使用经过优化的配方构建器,可以快速准确地处理任何配方。这与改进的介质灵活性相结合,使Flex 45成为各种蚀刻和灰化应用程序的理想解决方桉。LAM RESEARCH Flex 45设计有一个可调节的平台，可以精确处理各种尺寸的晶圆和基材，以及不同的蚀刻/灰化要求。它还具有简单直观的控制设备，允许用户在蚀刻配方或自动运行序列之间快速切换。蚀刻室和边缘环由铝合金构成，具有卓越的耐用性，使Flex 45可以处理压力、温度和气流的快速变化。LAM RESEARCH Flex 45是第一款提供广泛媒体灵活性的蚀刻器/asher，允许用户同时操作多个蚀刻配方。它也是第一个提供高级轮廓控制功能以减少过度蚀刻和不足蚀刻的蚀刻器/蚀刻器。此外,Flex 45还启用了硬编码数据记录功能,提供了蚀刻或灰化过程中配方设置和活动的详细记录。LAM RESEARCH Flex 45还提供了一系列先进的安全功能，包括内置的安全联锁系统和气体传感器。这些安全功能确保Flex 45始终以安全和合规的方式运行。安全联锁单元可防止在错误设置过程参数时操作蚀刻器/asher,从而使用户无需停止机器即可调整设置。气体传感器监测惰性气体和反应物气体的平衡，以保持必要的安全水平，避免有毒烟雾积聚。总体而言,LAM RESEARCH Flex 45是各种蚀刻和灰化应用的理想蚀刻器/灰化器。它设计为安全可靠,具有直观的控制工具和先进的介质灵活性,允许用户在蚀刻配方或自动运行序列之间快速切换。Flex 45一定能满足要求最苛刻的蚀刻和灰化要求。