二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9314598 待售

LAM RESEARCH Flex 45是专门为大型设备生产应用而设计的下一代蚀刻器/asher。凭借其先进的设计,Flex 45解决了各种各样的设备体系结构,同时磨练了精度一致性、效率和吞吐量。LAM RESEARCH Flex 45集成了智能、灵活的盒式磁带到盒式磁带设备,可支持更好的正常运行时间并确保更高的流程可重复性。它允许快速的刀具设置和基板负载锁定放置,从而提高了工作效率,甚至减少了维护/重新设计的停机时间。为了优化工艺均匀性,提供了标准配置和定制配置,包括：线性间距、垂直错位和斜角/带状材料。此外，该系统可以接受各种可储存带状金属材料的蚀刻和灰化应用。Flex 45具有强大的流程诊断单元,可实时监控所有流程参数的效率。这使操作员能够快速识别流程变化，快速响应流程变化，并根据需要实施纠正措施。此外,该机器还具有多个温度控制器,可实现多阶段稳定,并降低长期运行的温度漂移。它的高速数字I/O和以太网通信功能提供即时读出过程状态和结果,最大限度地减少错误并增加输出。最后,LAM RESEARCH Flex 45结合了一系列安全功能,如可消耗部件的自动关闭和工具安全警报,为操作员提供可靠的过程控制保证,同时进一步提高正常运行时间。结合这些高级工具,Flex 45为大批量生产提供了全面的蚀刻/灰化资产。