二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9315038 待售

LAM RESEARCH Flex 45是为超高蚀刻速率和最优工艺均匀性而设计的高级蚀刻器和asher。使用Uniflex Direct Etch,此设备可以出色地去除物料层,同时提供卓越的轮廓和负载控制。Flex 45还能够在其广泛的工艺范围内实现几乎所有蚀刻化学。它在一次运行中提供了多个过程步骤的精确同步,以及处理包括金属箔在内的一系列基板的能力。LAM RESEARCH Flex 45配备了专有高压设备，能够提供高达90mTorr的腔室压力，以提高操作效率。这与一系列电磁驱动的传输级相结合，以提供快速和精确的潜艇速率转移。通过获得专利的三区陶瓷气体分配系统实现了最佳工艺均匀性，能够准确定位本地和全球的蚀刻瞬变。Flex 45还具有现代化的闭环过程控制单元，为蚀刻过程提供了准确性和可重复性。这台机器包括一个工艺配方控制器、一个先进的气体控制工具、硬件功能的高级报告和跟踪，以及在一次运行中控制多个基板的能力。LAM RESEARCH Flex 45是为了在蚀刻一系列基板时最大的能力而设计的，包括厚层的硅片、柔性基板、薄膜、金属箔和有机基板。它在广泛的蚀刻化学中提供高度可重复的蚀刻轮廓。这可用于一系列应用，包括深蚀刻、高长宽比蚀刻、盲蚀刻和沟槽。该器件还适用于晶体生长、OLED器件制造、线键、MEMS器件、薄膜沉积等。Flex 45采用用户友好的软件控件和图形用户界面进行设计，以获得最大的便利。其先进的安全联锁资产也提供了额外的一层保护。该设备还能够在最小的人工干预下进行高精度的高速生产运行。LAM RESEARCH Flex 45具有出色的工艺一致性,结合其丰富的控制模型,是任何需要一致工艺可靠性和可重复性的蚀刻/灰烬应用的理想选择。