二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9315039 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款高级蚀刻器/asher，设计用于广泛的半导体工艺应用。该设备设计紧凑，高度自动化，为敏感材料蚀刻提供了高效、准确的方法。它由坚固的材料构成，保证了系统寿命长和运行效率高。该装置装有一个由不锈钢制成的先进反应室，加热至较高的工艺温度，以确保整个工艺过程的精度。反应室配有数字真空压力控制器，允许对工艺环境进行精确控制。该室还设有喷雾式定向喷射器，能够有效蚀刻具有均匀蚀刻速率和最小过度蚀刻的基板。Flex 45还具有先进的过程控制器和人机界面（HMI）,可实现全过程控制。此控制面板支持可编程批处理参数,允许操作员存储流程配方并在必要时将其召回。控制器还提供全方位的流程监控选项,包括手动调节、自动热管理和高级诊断数据。该机还配备了一个颗粒过滤器工具，它可以过滤掉可能影响蚀刻精度和基材质量的颗粒。这种颗粒控制资产旨在提高蚀刻精度和产量，降低过程污染风险或与颗粒夹带相关的其他问题。最后，LAM RESEARCH Flex 45配备了一套安全功能。这些功能包括紧急关闭、安全传感器和空气过滤器,可降低危险颗粒进入可用环境或污染蚀刻/灰烬过程的风险。综上所述,Flex 45为半导体行业提供了一种创新且可靠的蚀刻器/灰化器,旨在提供精确的蚀刻工艺,并保护人员和设备免受潜在的工艺危害。LAM RESEARCH Flex 45凭借其精密的工艺控制、安全特性和颗粒过滤能力，是蚀刻敏感材料的绝佳解决方桉。