二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9315040 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款为高级半导体加工而设计的蚀刻器/asher。它能够执行各种蚀刻和灰化过程,包括等离子体蚀刻、PRAM蚀刻、离子铣削、蚀刻回印等。针对薄膜蚀刻和灰化工艺进行了优化。Flex 45是一款多工艺设备，配有自动门燃气柜。此特性允许多腔过程优化，具有广泛的等离子体蚀刻化学、过程气体、压力和系统功率。该单元用于单个到多个模具封装,使其适用于各种工艺和材料。LAM RESEARCH Flex 45具有模块化的腔室设计,可提供高达4腔配置的灵活性。它还包括一个Ultra-High Vacuum （UHV）蚀刻室和一个可选的涡轮泵，使深腔过程成为可能。此外,该腔室还可以配置RF/DC和步进总线模块,以便进行多过程操作。该机采用数字低压射频电源,用于控制蚀刻/灰化过程。它是基于外部或内部晶圆映射的可靠、精确的过程重复性设计。这使得可重复晶片逐个晶片的产量增加。此外，Flex 45还配备了真空抽水工具和冲洗方桉，有助于保持一个清洁和多余的无室。LAM RESEARCH Flex 45为可靠的操作和耐用性而设计。它包括高级诊断功能和容错措施,以确保蚀刻/灰化过程的可重复性和寿命。此外,它还具有触摸屏图形用户界面,可让操作员直接控制蚀刻/灰化过程。此功能有助于确保精确控制以提高产量和效率。最后，Flex 45是一种针对薄膜蚀刻和灰化工艺进行优化的高度先进的蚀刻/灰化器。它具有模块化腔室设计、数字低压射频电源、可选涡轮泵和触摸屏界面。该资产专为可靠、可重复和高效的操作而设计,使其成为高级半导体处理的理想选择。