二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9315041 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款功能强大、速度快、灵活的蚀刻器/asher设备,非常适合各种微纳米制造应用。它为蚀刻和灰分工艺提供了广泛的工艺选择，包括湿法和干法等离子体蚀刻和灰分清洗。该系统能够对包括金属、电介质、聚合物薄膜和导体在内的各种材料进行蚀刻、灰化和灭活。Flex 45提供出色的工艺重复性,能够精确控制蚀刻轮廓和成品的表面控制。它具有一个自动涂层控制单元,可确保不同的运行和稳定的蚀刻和灰分配方之间的一致性,以及用于工艺优化的自动参数调整。这有助于确保一致的过程和可重复的结果。LAM RESEARCH Flex 45还具有一个大型工艺室,可提供多种压力、温度和气流,以实现特定的工艺条件。这使得它非常适合各种材料，从金属到电介质，以及各种沉积过程，如溅射、蒸发、PECVD和CVD。该机器还提供了硬件配置的灵活性。它可以配置为满足特定于客户的应用程序要求,可以选择更高的功耗、更大的腔室、多个腔室、扩展的钟形容器以及其他定制的硬件配置。总体而言,Flex 45是一款出色的蚀刻器/asher工具,可在许多不同类型的工艺应用程序中精确控制蚀刻轮廓、表面控制和可重复性。它用途广泛,可以配置为满足特定于客户的需求。LAM RESEARCH Flex 45的快速性能、较大的工艺室以及广泛的工艺选项,使其成为微纳米制造应用的理想选择。