二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9315042 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一种为半导体器件制造而设计的蚀刻和灰化设备。该系统利用脉冲感应耦合的远程等离子体过程来实现持续、可重复的蚀刻和低损伤的灰化。顾名思义,它具有45°成角度的工艺室,可实现更均匀的等离子体、更好的边缘轮廓控制、改进的孔侧向定义和均匀的表面清洁。此外,Flex 45还具有可变输出频率电源,可用于精确的工艺调整,因此非常适合用于临界层蚀刻。该装置还具有若干先进的监测能力，如实时蚀刻速率传感器、原位光学点火和原位监测机。这种最先进的工具允许精确和可重复的蚀刻，使它成为一个伟大的工具复杂的结构和极其严格的公差。LAM RESEARCH Flex 45具有高级流程控制功能,可确保设备和流程之间的一致性。它配备了多种自动化的过程工具，包括可变脉冲持续时间、波形控制选项以及压力和温度控制。这与两级冷却功能相结合,可用于各种蚀刻和灰化参数。此外，Flex 45还提供了主要的区域和全局均匀性测量和校正能力，以及针对不同工艺条件和周期的高级误差补偿。这确保了可以一次又一次复制的高质量结果，使其成为大批量生产运行的理想选择。总体而言，LAM RESEARCH Flex 45是一种先进、精密的蚀刻和灰化资产，非常适合半导体器件制造。其成角的工艺室可实现均匀的等离子体密度、出色的边缘轮廓控制和均匀的表面清洁。该模型具有可变输出频率功率和先进的工艺控制，适用于临界层蚀刻和实现可重复、高质量的结果。