二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9351376 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款灵活、可扩展的蚀刻器/asher设备,旨在满足各种等离子体清洗、蚀刻和灰化要求。该系统能够在一次运行中执行各种过程，如溅射蚀刻、等离子体蚀刻、氧化清洁和深干蚀刻。它带有一个直观的用户界面，能够为各种应用程序提供简单的操作和方便的配方设置。它的高级功能有助于最大限度地减少浪费和最大限度地提高流程可重复性。该单元采用模块化设计,允许用户配置多个处理室,为各种蚀刻需求提供灵活可靠的解决方桉。它配备了高性能的工艺源，能够同时操作多达八个等离子体腔室和两个电源。腔室分别配备必要的硬件、视频监视器、用于温度控制的红外高温计以及用于独立过程控制的射频电源。该机通过手动和可编程的等离子体配方，有效地协调了连续和同时的等离子体过程。Flex 45附带了一个高级过程控制工具,它通过实时反馈和调整过程参数实现了高质量的过程。其现成的薄膜沉积模块简化了沉积过程，实现了对厚度、组成和应力控制的精确控制。其软件的高级集成使配方数据、过程优化和清理序列的有效控制和管理成为可能。该资产配备了卓越的真空控制和抽水系统，确保了在各种蚀刻应用中的准确和可重复的过程。它还具有用于精确晶圆放置的自动潜水喷嘴、带有宽工艺窗口的高速淋浴头以及用于最大限度减少n型和p型污染的车载回收模型。LAM RESEARCH Flex 45能够处理多种底物，包括但不限于硅、石英、砷化​​氙和的。总体而言,Flex 45是灵活可靠地处理不同基材的理想解决方桉。凭借其先进的工艺能力、控制系统和先进的环境控制系统，可以轻松满足各种蚀刻和清洁应用的需求。