二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9351459 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款创新的、经济实惠的蚀刻/灰烬设备,提供卓越的性能和极高的可靠性。此自动化系统具有单一的源、集成的硬件和软件平台,易于使用和配置。它集成的多室设计提供了灵活性和一系列选项,以便用户可以配置工具以最好地满足其特定的蚀刻/灰烬需求。Flex 45提供了9种不同的工艺模式，包括蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）和灰分模式。它还具有开放式体系结构,允许高度定制。用户可以从各种蚀刻和灰分化学和腔室配置中进行选择，以满足应用程序的特定需求。该单元有效和精确地应用化学和工艺，以提供高质量的蚀刻/灰分结果。蚀刻/灰分机包括一个集成的多级负载锁定和样品转移工具，确保快速高效的基板座椅和样品转移。资产的多合一设计消除了为蚀刻/灰烬配置多个组件的需要,从而实现了更快、更准确的设置和处理。LAM RESEARCH Flex 45配备高度自动化的功能集和提供卓越过程控制的综合控制模型。通过实时监控，用户可以调整流程，达到最佳效果。控制设备还允许远程监控和数据记录,以帮助加快流程开发和故障排除。Flex 45的设计考虑了安全性，配有触摸屏膜输入系统和安全额定工艺室。该单元的多合一设计确保在产品中内置必要的安全功能。总体而言,LAM RESEARCH Flex 45是生产线和工艺开发实验室中蚀刻和灰分的理想选择。Flex 45以其集成、多室设计、高效的装载机、过程控制工具以及全面的安全特性，是一款经济实惠且可靠的蚀刻和灰烬工具。