二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9351460 待售

LAM RESEARCH Flex 45是专门为大规模生产和小模具尺寸而设计的蚀刻器/asher。凭借其精密的设计和创新的特点，它可以提供高蚀刻率、低缺陷率，并便于提高产量。Flex 45的先进技术提高了运营商快速高效地响应生产线不断变化的需求的能力。设备的垂直工程使操作员能够轻松地改变双火把和底板之间的距离，从而在控制晶片周围温度的同时最大限度地控制晶片上的蚀刻和灰化程度，以防止对模具边缘的损坏。此外，LAM RESEARCH Flex 45还可以精确控制蚀刻气体的压力和温度，这种压力和温度可以通过集成数字读出来持续监测。Flex 45 蚀刻器/asher具有多盘盒式系统，允许晶片同时蚀刻和粉刷，增加吞吐量和减少循环时间。它的多个射频线圈集成在高温度石英管中，能够实现数字调谐，从而实现可靠的等离子体蚀刻性能。蚀刻还包括一些能够安全操作蚀刻器/asher的功能。它具有内置温度探头、CO2爆震控制阀等多种安全保障措施，确保安全运行。LAM RESEARCH Flex 45 蚀刻器/asher设计适合大多数系统布局和批量生产环境。其节省空间的设计使其成为任何生产线的通用加法，提供最大性能和可靠性。符合人体工程学的操作站可以方便操作和维护，而液晶为实时客户提供最新的蚀刻和asher参数。为了增加灵活性，机器还允许硬件升级，例如增加多种流程功能。Flex 45旨在提供最高质量的蚀刻和灰化性能,而其高级用户界面（UI）使用户能够快速查看结果并进行必要的过程调整。LAM RESEARCH Flex 45以其先进的工程、可靠的操作、灵活的设计，是大规模生产、小模具尺寸的完美解决方桉。