二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9358660 待售

LAM RESEARCH Flex 45 蚀刻器/asher是一种高性能的化学或等离子体蚀刻和各种底物的灰化工具。它是一种用途广泛、性价比高的蚀刻和灰化解决方桉，非常适合一系列应用，如高速、高通量蚀刻和灰化；低温蚀刻和灰化；以及严格的公差蚀刻和灰度。Flex 45具有集成的射频发生器和全自动过程控制功能,可处理最复杂的蚀刻和灰化请求。它还具有高级蚀刻/灰选择功能,使用户能够微调其流程,从而在不牺牲吞吐量的情况下实现更好的性能。LAM RESEARCH Flex 45还提供经过全面翻新的子系统,旨在优化客户流程灵活性和效率。Flex 45配备了一个大型的开放式工艺室，能够处理尺寸达6英寸的基板。它的自动化过程控制系统使用户能够精确控制蚀刻/灰分参数，如功率和基板温度，以达到最佳性能。此外,LAM RESEARCH Flex 45还具有高级诊断功能,可监视和监控所有流程,从而实现更好的流程控制以及卓越的可重复性和稳定性。Flex 45提供一系列蚀刻/灰化化学物质，如氧化物、氮化物和金属。它还能够在广泛的基材上蚀刻/灰化，如氮化硅、二氧化硅和铝。LAM RESEARCH Flex 45专为可靠和可重复的操作而设计,并提供卓越的过程控制,确保最佳性能。最后，它的占地面积很小，可以很容易地装入任何实验室或制造设施。