二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9358663 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款为半导体行业设计的最先进的蚀刻器/asher。它具有双源等离子体设备，可实现晶片材料的最佳沉积。这是一个完全自动化的系统，包含一个负载锁，允许快速晶圆变化和自动冲洗，保持工艺室清洁在长期生产运行。Flex 45利用精确控制的红外传感器和先进的控制软件来精确监控处理环境。LAM RESEARCH Flex 45有一个内部为.85m2的加工室，设置在200pTorr的压力下。它还利用先进的射频匹配网络和软件控件为每个工艺配方精确调整最佳射频功率。这导致了非常高的过程稳定性和可重复性，以及提高等离子体均匀性和更好的等离子体诱导的低频噪声。Flex 45旨在达到质量和可靠性的最高标准。它旨在结合许多高级安全功能,例如E-Stop安全联锁,以及紧急关机后的自动恢复,以及一整套外部和内部联锁系统。其预测性健康监测也保证不间断生产。LAM RESEARCH Flex 45还具有高性能、高效的气体分配子系统。它可以同时支持多达四个气源，并且设计用于低成本的每晶片气体消耗。它使用了一个坚固的气体分配网络，以及一个专有的气体净化单元，以减少粒子产生和维持过程纯度。Flex 45还包括配方管理器计算机,使用户能够在数据库中管理、存储和分析配方,并使用它们来配置流程步骤。这有助于提高工具利用率和保持工具正常运行时间。最后,LAM RESEARCH Flex 45得到了LAM RESEARCH致力于客户服务和满意度的支持。它有各种客户支持服务作为后盾,并附有一年保修。简而言之,Flex 45非常适合您的蚀刻和灰化需求。