二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9358666 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一种先进的蚀刻器和asher解决方桉,专为沉积、蚀刻、平面化和接触暴露等多种应用而设计。它是一个强大而坚固的平台，可容纳多达12英寸的基材，最多4个晶圆。Flex 45利用等离子体Expression™技术帮助实现理想的蚀刻和灰化性能和可重复性，绝对无缺陷操作。此外，该设备还配备了最新的安全功能，以改善工艺和操作员的安全。LAM RESEARCH Flex 45专为高可靠性性能和生产效率而设计,提供多种选项以提高性能和生产率。它具有先进的控制器，提供实时的过程优化和集成，与动态过程控制。该工艺气体控制系统具有背面基板加热能力，支持各种工艺配方和型材，易于在系统间传输。该装置还配备了自动晶片处理机，可同时转移多达4个基板。Flex 45内部的集成自动化技术还确保了蚀刻和灰化过程的可重复性。LAM RESEARCH Flex 45还设有一个双壁等离子体反应堆和一个7传感器阵列，用于温度测量和均匀性控制。这允许对等离子体参数进行精确调整，并对等离子体均匀性进行自动对准和实时评估。Flex 45还配备了先进的安全互锁工具，其中包括多级安全和紧急控制，以及高压微波发电机控制和紧急关闭。在生产率方面,LAM RESEARCH Flex 45具有高效晶圆传输资产以提高吞吐量,以及用于实时验证和优化过程的自动化数据记录模型。该设备还包括一种专有的配方Optimization™（RO™）技术，使用户能够在不牺牲工艺质量的情况下快速确定最佳工艺配方并最大限度地提高吞吐量。总体而言,Flex 45是一款高级蚀刻器和asher解决方桉,旨在实现高可靠性性能和生产效率。它具有先进的实时数据收集控制器、带7传感器阵列的双壁等离子体反应器，用于温度色调和均匀性控制，以及用于提高吞吐量的自动晶圆处理系统。此外,LAM RESEARCH Flex 45还包括一项配方优化技术,以确保最佳工艺配方和最大限度地提高吞吐量,以及一个全面的安全联锁单元和紧急关机,以提高流程和操作员的安全性。