二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9358687 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一种主要为半导体制造应用而设计的蚀刻和灰化机。它能够蚀刻各种材料，从硅和复合半导体到铝和金。其独特的设计以热源和多个真空室为特色，可以处理直径达8英寸的任何尺寸晶片。Flex 45还具有控制蚀刻速率、选择性和实现高精度的能力。LAM RESEARCH Flex 45由运动控制系统驱动，该系统自动对过程步骤序列进行排序，包括射频偏置和过程气体控制。还提供了自动晶片预对准装置，以确保基板在每个加工室中均匀加载。该机还与一个专有软件包连接，用于配方开发和操作员控制。半导体晶片的蚀刻是一个极其复杂和精细的过程，需要精确控制蚀刻参数。实现理想条件需要精确控制温度、功率和气体流量。Flex 45采用了一系列可靠且经过良好测试的技术，如射频能量、磁控管溅射和等离子体蚀刻。此外，该机还具有一个集成的差分压力传感器（DIPS），可精确监控蚀刻工艺条件。LAM RESEARCH Flex 45能够蚀刻硅晶片，以及化合物半导体，如硅​​金铵和砷化氙。也可用于蚀刻硬质金属，如铝和金。Flex 45的工艺模块设计为易于与各种工艺模块集成,从而为定制蚀刻工艺提供了高度的灵活性。LAM RESEARCH Flex 45专为性能而设计,旨在以最有效的成本实现最高质量的蚀刻。该机是考虑到安全和环保，按照行业最高标准打造的。Flex 45是蚀刻和灰化系统的绝佳选择,它提供了对蚀刻过程的精确控制以及定制配方的灵活性。