二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9358689 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一种最先进的蚀刻/asher设备,具有完全集成的等离子体蚀刻和湿蚀刻技术,提供高精度和精确度。这一高性能工具旨在支持各种材料的最佳蚀刻工艺，如半导体、MEMS和太阳能电池等。它具有强大的单晶片级自动化晶片处理功能,这意味着可以为单个晶片设置多个蚀刻过程,从而实现高吞吐量。Flex 45具有关键几何形状的卓越放置精度,可实现严格的过程控制。这种精确度是通过高度精确和可靠的晶圆传递系统，加上先进的电极定位器来实现的，以提供异常精确的烧蚀轮廓。此外,LAM RESEARCH Flex 45还配备了一系列像差校正工具,可以优化蚀刻轮廓的控制。Flex 45配备了双级脉冲直流等离子体发生器，能够产生高密度的氧等离子体，可同时用于高密度等离子体蚀刻和湿蚀刻应用。该装置还提供各种蚀刻化学方法，其自动晶圆步进蚀刻能力使其适合大批量生产。在易于操作方面，LAM RESEARCH Flex 45的用户友好、直观的图形用户界面使其设置、监控蚀刻过程和收集数据以进行分析和过程优化极为简单。此外，该工具还定期实时监测和评估数据，促进优化过程结果。Flex 45通过其全方位的机电对准功能能够蚀刻非常大的几何形状，为用户提供了最大的灵活性。该工具还配备了用于精确垂直对齐的先进视觉机，允许高精度蚀刻甚至最小的特征。总体而言,LAM RESEARCH Flex 45是一款功能强大且用途广泛的工具,可用于蚀刻和湿蚀刻应用,提供精确度和精确度以及高吞吐量。它非常适合众多行业，如半导体、MEMS、太阳能电池等。