二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9378664 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款高级蚀刻/asper,适用于各种蚀刻和asper应用。它是一种单晶片、多板设备，设计用于高通量、高选择性蚀刻和asper工艺。该系统配备了强大的Resonant Helicon和Hot Wall ICP蚀刻源，可以精确控制精密蚀刻配方的工艺参数。它还具有先进的工艺控制软件，实现了无与伦比的工艺控制，从基板到基板。Flex 45可以容纳最大3mm厚的宽范围基板，并能以非常高的重复性和精确度进行蚀刻。它支持每小时最多40个晶圆（WPH）的吞吐量,以及具有全过程控制的复杂蚀刻配方。该单元还支持各向同性蚀刻、各向异性蚀刻、凹槽蚀刻、光刻和硬掩码蚀刻以及表面特征控制等工艺。机器的谐振螺旋源采用专有调谐技术设计，提供可调功率、波形和频率。这使用户可以调整过程结果,如蚀刻速率、轮廓形状、过程选择性、asper均匀性和薄膜侧壁角。随附的ICP源支持具有非常低的蚀刻速率和各向同性蚀刻轮廓的过程。共振螺旋源还允许高度均匀的蚀刻深度和低均匀的基线蚀刻。得到的特征深度精度可高达± 1%。LAM RESEARCH Flex 45具有广泛的功能和选项,使用户能够根据自己的需求定制工具。Loadlock资产配备了压力控制模型，并有大气和高真空选项。这样可以快速装载和卸载基板,同时减少污染。该设备还具有自动基板夹具的电动运动控制功能，以及为高级蚀刻工艺设计的可变强度热壁蚀刻源。Flex 45还提供了直接写入成像解决方桉,允许用户直接写入基板。此功能消除了掩蔽或传输标线的需要,从而减少了可变性,从而允许用户在提高准确性的同时剃掉宝贵的时间。该系统与气动阀和软阀兼容，用于过程控制，从而能够精确控制过程环境。最后,LAM RESEARCH Flex 45还提供了全自动的数字分析、回溯和视频监控功能。它拥有先进的旋风控制、创新的临界维度监测单元以及数字视频点播选项，用户可以近乎实时地观看"蚀刻进度"。Flex 45具有最先进的功能和过程控制功能,是各种蚀刻和精加工应用的理想蚀刻器和精加工。