二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9379094 待售

LAM RESEARCH Flex 45是为高性能等离子体蚀刻和灰化应用而设计的高品质蚀刻器/灰化器。这台设备配有一个3.2米的腔室，并有一个45厘米的六角形压板。它提供了最高的吞吐量,最大负载为40种基材,每种基材之间的距离为10厘米,并且具有多步蚀刻/灰分配方功能,深度可达18层。Flex 45还提供了卓越的一致性和特征定义控制,同时具有极高的可靠性和经济性。该系统配备了几种先进的等离子体工艺，如RF/DC/DC反应性离子蚀刻（RIE）。它专为具有多达18层可重复定义的特征定义的高级蚀刻和灰烬轮廓而设计。与RIE一起使用的等离子体源是带有预电离器的两级两频射频源，以最大程度地减少钝化效应，使良好的均匀性。此外,该单元还为机器提供动态频率调谐和脉冲功能,以实现卓越的蚀刻和灰分轮廓。LAM RESEARCH Flex 45还配备了增强的原位清洁功能,能够对高级图桉表面进行高质量的清洁。这包括腔壁涂层和去调保护，以及氮基颗粒和气相蚀刻。该工具还能够进行多种工艺，如原位清洗、腔壁烘烤和溅射，以确保卓越的性能和高质量的效果。Flex 45是一款高度可靠的蚀刻器/asher,具有超高精度和精确度,具有令人难以置信的可重复结果。该资产配备了带有图形用户界面（GUI）的4英寸触摸屏显示屏，便于操作。它装在防尘防尘橱柜中，以加强保护和安全。此外,它还配备了远程监视模型,用于通过Web进行远程支持和访问。该设备还有一个全面的服务和支持计划作为后盾，以确保最大的正常运行时间和安心。