二手 LAM RESEARCH Flex 45DD #9011013 待售

LAM RESEARCH Flex 45DD是一种蚀刻器/asher,旨在满足各种生产需求。它是晶片粘合、表面膜制备和氧化物蚀刻等半导体晶片加工的理想选择。它具有一个PECVD腔室，使其能够在晶圆上沉积保形二氧化硅和氮化硅，并能够进行反应性离子蚀刻（RIE），以实现更精确的图案化和定义特征。Flex 45DD的灵活设计允许它在各种各样的生产设置中使用，包括灵活、连续、批处理、集群工具和孤立的asher应用。LAM RESEARCH Flex 45DD利用了高达15,000晶圆的生产面积，最大吞吐量高达每小时380晶圆。该蚀刻器具有一个通用的PECVD腔室，该腔室具有独立的流量控制阀，可以精确控制气流、压力和温度。它还包括一个可编程的晶圆处理设备，具有可调节的温度和压力设置，可调节的间隙控制，晶圆旋转，以及配方驱动的自动调谐模式。这样可以精确处理各种基材和晶圆类型。此外，Flex 45DD与广泛的检验和计量系统兼容，提供了对蚀刻和沉积过程的准确测量。LAM RESEARCH Flex 45DD由于其设计特点和集成的系统保护措施，也是可靠和安全的使用。它具有高度集成的控制单元,并具有大量内置的诊断和安全功能,可自动执行过程并确保机器符合工厂安全法规。该工具还具有一个真空室，该真空室具有集成的架空间隙和安全联锁系统，以防止操作过程中发生事故。此外,还采用激光烧蚀室清洁设备来确保最佳生产性能,同时内置系统可保护工具和用户免受停电和超载造成的长期损坏。最后，Flex 45DD是半导体晶圆加工的一种可靠、高效的蚀刻器/灰化器。凭借其灵活的设计、PECVD功能、可调节的间隙控制、晶圆旋转和自动调谐模式，可以快速准确地处理各种基材和晶圆类型。它还具有许多内置的安全功能,以确保工具的高效和安全运行。