二手 LAM RESEARCH FLEX DS #293628303 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是由LAM RESEARCH开发的完全集成的多工艺蚀刻器/Asher设备。它是一个先进的系统，能够进行各种过程，如蚀刻、灰泥、清洁、剥离和表面准备。该设备的设计考虑到安全性和生产率,采用简化的体系结构,可确保最大吞吐量和最小停机时间。该机由三个模块化组件组成：工艺模块、热力工具和控制器。工艺模块由主室和缓冲室两个室组成。电源室装有多种工艺气体、电力和真空端口，用于装卸晶片。它还容纳了气体输送资产和过程射频（RF）电源。缓冲室采用热控制，达到最佳温度均匀性和工艺均匀性。火电模型由交流/直流发电机和固态控制高压开关模块组成，负责提供蚀刻和灰化过程所需的电源。它确保了一致的输出电压和频率，同时保护设备免受电压激增和其他电气异常的影响。控制器模块配有直观的触摸屏控制面板，允许操作员监控和调整过程气体流量、射频功率、腔室条件和温度/压力设置。它还包括一个用于数据记录和审查的内置数据库，以及一个满足不同流程需求的食谱库。此外,它还提供了一个包含配方管理、机床诊断和系统控制等附加功能的库。FLEX DS能够在各种基板上执行蚀刻和灰化过程,如Si晶片、平板显示器和3D打印部件。它还包括一个真空监测单元，以确保最大程度的工艺均匀性和清洁度。这台机器旨在最大限度地提高流程的可重复性和灵活性,同时减少维护和设置所花费的时间。