二手 LAM RESEARCH FLEX DS #293636663 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一种先进的蚀刻/asher工具，用于半导体和其他先进行业，用于创建微结构和其他复杂结构。此工具在配置文件创建和配置文件维护方面提供了流程一致性。FLEX DS具有以高吞吐量和过程精度同时执行多个蚀刻或灰化过程的能力。该工具将热CVD和等离子体蚀刻/灰化技术结合在多腔室配置和单一晶圆传递机制中，以实现高均匀性和过程一致性。LAM RESEARCH FLEX DS有一个15英寸开载、双微型收缩传输系统，高吞吐量。它还有一个集成的真空系统和多室架构，能够根据每一层或特征的要求使用可编程配方进行多通蚀刻。对于那些需要高选择性的应用，一个可选的VHF腔室可用于更高的等离子体质量和改进的特征蚀刻选择性。FLEX DS还配备了最新的实时数据采集和控制系统，用于精确分析和自动化过程控制。这包括一个四口袋质量流控制器，四或八进制光子沉积曝光系统，以及过程气体输送和监测。它还具有操作环境和功能强大的自动化工具,可提供自动逐层控制和过程一致性。LAM RESEARCH FLEX DS系统提供多种尺寸和配置,以满足不同应用程序的特定需求。其工艺技术旨在满足最苛刻的制图和沉积要求，以实现高产率和均匀性。FLEX DS系统已集成到几个工业级的生产过程中,为客户提供可靠、可重复的设备制造高收益解决方桉。