二手 LAM RESEARCH FLEX DS #293642654 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一款用途广泛、可靠的蚀刻器/asher，旨在满足半导体制造的需要。利用双源技术优化了整个基板的蚀刻剖面和沉积均匀性。该技术利用离子轰击和离子流两个独立的来源来确保均匀性和高性能。FLEX DS还配备了独立的Chuck-to-Wafer-Distance （CWD）设备,允许在蚀刻过程中动态控制工艺温度和压力。这消除了手动调整的需要,并确保准确的蚀刻结果。压力可在0.5巴至10巴之间调节，温度可在25C至600C之间调节。该系统利用化学输送单元精确控制感应耦合等离子体（ICP）蚀刻或灰烬化学的浓度。此精度允许在不使用掩蔽层的情况下优化蚀刻结果。LAM RESEARCH FLEX DS配备了先进的诊断工具，能够在控制和优化蚀刻或粉碎结果方面实现高精度。这些工具提供了实时流程的全面报告,从而实现了流程的优化。其先进的冷却机可在较长的处理时间内实现较高的蚀刻速率。该工具是为方便维护设计与一个完全封闭的基本单元。这样可以快速访问所有主要资产组件,从而最大限度地提高模型正常运行时间和效率。FLEX DS 蚀刻器/asher是半导体材料加工的理想选择。对于需要高精度和高精度的蚀刻或灰化工艺,它是可靠且经济高效的解决方桉。其用户友好的设计、高效的组件和先进的诊断工具使其成为最具挑战性的过程的理想工具。