二手 LAM RESEARCH FLEX DS #293642664 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一种先进的asher/etcher设备,它为材料、半导体和MEMS （Micro Electro-Mechanical Systems）研发领域的用户提供了一整套功能和特性。凭借其创新的设计,FLEX DS能够以更高的吞吐量、更低的拥有成本和更好的过程控制提供受控且可靠的蚀刻/灰化过程。通过利用IC指纹蚀刻、多个蚀刻室和本地/远程处理等先进技术,研究人员可以轻松地将LAM RESEARCH FLEX DS集成到他们的实验室环境中,并体验业界领先的过程自动化。系统灵活的设计允许用户组合多个蚀刻室，并将其与适当的工艺相匹配，无论是深蚀刻、湿蚀刻、热蚀刻、电化学蚀刻、化学蒸气蚀刻，还是选择性材料蚀刻。这使用户能够获得所需的激活能量，同时提高他们所需过程的准确性和效率。FLEX DS ETCH PROCESS在蚀刻定时、温度、压力和电源控制方面为用户提供了无与伦比的精度和灵活性。它还提供了一个直观且易于使用的流程用户界面。该单元还能够支撑线圈、泡沫、开孔网、碳纤维晶格、SiC等多种蚀刻介质。这消除了手动处理的需要,并改善了流程控制。此外,LAM RESEARCH FLEX DS机的设计既通用又小巧.它支持CO2、X-RAY、离子束等多种光束类型以及不同的晶圆尺寸。由于其占地面积小，该工具可以很容易地融入任何实验室环境，并允许以最小的占地面积进行生产性处理。最后，FLEX DS平台配备了尖端的诊断和过程监控工具。这包括温度和压力监控、多个图像捕获和捕获单元以及TEC-mote软件。这些功能使研究人员能够最大程度地方便和准确地测量、监视和分析蚀刻和灰化过程。总体而言，LAM RESEARCH FLEX DS是材料、半导体和MEMS行业研究人员的理想平台。通过集成高级功能、尖端技术和直观的用户界面,FLEX DS使用户可以更轻松地在蚀刻/灰化过程中实现更高的精度和控制。