二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9270877 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一款针对高级流程集成和用户灵活性而设计的蚀刻器/asher。该设备是在硅、玻璃、石英、金属等基板上创建关键、高质量结构的创新、经济的解决方桉。FLEX DS具有最先进的腔室设计,允许用户根据所使用的基板和所需的结果,根据自己的特定需求定制工艺配方,从而提供严格的工艺控制和最大的灵活性。该系统配有一个5维原位过程控制单元，可确保进程正确运行并具有一致的结果。蚀刻和灰化过程的出色均匀性导致精确的尺寸控制，为用户提供了质量和可重复性之间的理想平衡。还确保了压力稳定性和腔室清洁度，从而实现了长期、可靠、清洁的工艺效果。这款功能强大且经济的蚀刻器/asher由高级部件构成，包括先进的石英淋浴头、五弧形快门机和先进的超可靠真空泵。对真空泵的性能进行监测，以确保精确的过程控制，优化泵的使用寿命。LAM RESEARCH FLEX DS还提供快速的运行时间和出色的晶圆加载能力。由于腔室温度可以升高或降低,因此该工具可以灵活安排生产计划。此外,FLEX DS具有可互换的腔室,可根据需要进行交换。这些强大功能的结合使得LAM RESEARCH FLEX DS成为任何蚀刻或灰化应用的理想解决方桉。FLEX DS的设计考虑了安全性和用户友好性。该资产包括一个封闭的蚀刻/灰化室、一个自动监控光学聚焦的自动对焦模型和一个可编程逻辑控制（PLC），它旨在提供自动化的安全特性和直观的操作员控制。综上所述,LAM RESEARCH FLEX DS是一款功能强大且经济的蚀刻器/石膏,可提供快速的运行时间和精确的过程控制。此设备旨在处理所有需要蚀刻和灰化的应用程序,并为任何需要提供灵活的解决方桉。安全特性、用户友好的设计和可互换的腔室使FLEX DS成为任何需要蚀刻或粉刷基板的项目的有效和可靠的选择。