二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9311091 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一种高级蚀刻器/asher,专门设计用于跨多种半导体材料提供高通量和精确蚀刻。FLEX DS支持蒸气蚀刻、干蚀刻、氧化物蚀刻、氧化物灰化等高级蚀刻工艺。为优化工艺性能,LAM RESEARCH FLEX DS采用精确的蚀刻接近传感器模块,该模块不断检查蚀刻表面的质量。该系统能够处理多达600毫米的晶圆，而加工室由不锈钢构成，增强了隔热能力，并允许高效、精确的温度控制。所有关键过程都由腔室压力控制器和嵌入系统的过程控制算法实时监控。为了确保一个一致和可重复的过程，每个FLEX DS都配备了气体比控制，这是一个保持蚀刻轴气体/蒸气成分的功能。LAM RESEARCH FLEX DS采用高科技淋浴头，旨在优化被蚀刻材料的排斥率，而其先进的动力学等离子体技术则提供卓越的蚀刻分辨率和性能。新的Fuzzi-Free技术通过消除模煳边和消除蚀刻过程中的入射角变化，提高了蚀刻的均匀性。为确保效果一致，FLEX DS配备了专利脉冲气体预处理功能，保证了卓越的蚀刻性能。为了安全和均匀性，LAM RESEARCH FLEX DS还配备了独特的等离子体点火装置，可以调整以设置等离子体所需的不同能级。此外,FLEX DS还配备了智能SIF固定盖,可确保每个蚀刻周期前后等离子体的完整性。盖子还起到了安全屏蔽的作用，并经过测试可承受高达每分钟210个扭矩循环。LAM RESEARCH FLEX DS是各种亚微米和低k介电蚀刻的理想蚀刻器/asher解决方桉。凭借其先进的技术,FLEX DS提供了最佳的性能和优异的蚀刻产量.