二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9315255 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是设计用于半导体和薄膜工艺的先进蚀刻器和asher室。其设计提供了蚀刻和灰分工艺的超高均匀性，可用于湿蚀刻、干蚀刻和灰分工艺。FLEX DS能够蚀刻和灰化直径不超过3英寸的基板。它具有可调的气体温度、压力和流量。它还具有可调转速、电平红外传感器和ICP射频功率及匹配控制.它还包括一个用于监视进程参数的远程操作面板。该腔室针对各种材料进行了优化，其中包括硅、砷化氙和氮化硅。它具有一个完整的陶瓷振铃改善蚀刻均匀性。该腔室包括一个特别设计的聚酰亚胺衬里，以确保均匀和可重复蚀刻深度。该腔室设计为与各种化学物质兼容，包括用于深层各向异性蚀刻的SF6、CF4、NF3、C5F8和He/Xe溷合物。它还能够支持使用高压和低压废气溷合物的低压无烘烤加工。LAM RESEARCH FLEX DS具有先进的5轴机器人，用于精确的晶圆处理。机器人能够将晶片从负载锁移动到原位腔室，从原位腔室移动到清洁室。这使得SCARA机器人得以使用，使得转移晶片更加容易。腔室包括晶圆监测系统，设计用于监测蚀刻和灰分蚀刻过程中晶圆的温度和压力。这有助于确保过程得到准确控制。腔室还包括射频反射测量系统，有助于监测蚀刻轮廓的均匀性。FLEX DS是一种先进的蚀刻和灰化室，旨在提供具有超高均匀性的精密蚀刻和灰分工艺。它能够蚀刻和粉刷各种材料。其先进的晶片处理机器人使晶片易于传输，其射频反射测量系统确保了蚀刻工艺的最佳均匀性。