二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9315257 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一种高级蚀刻器/asher,配置为提供高吞吐量和过程一致性。它旨在满足小型研究项目的需要，适用于等离子体表面处理、蚀刻、氧化物蚀刻和化学气相沉积等应用。FLEX DS利用一个大型的加工室，并有一个专有的三区气体输送系统，专门设计用于提供均匀、各向同性的蚀刻，以创建声学、光学和电子结构。该工艺室还提供了广泛的等离子体功率密度，允许高效蚀刻速率和精确的层深度控制。LAM RESEARCH FLEX DS拥有极低的颗粒生成率，适合医疗器械制造等需要很高清洁度的应用。此外，它的自动化控制系统和集成软件可以方便地优化针对特定基材和工艺条件的配方。FLEX DS利用绝缘技术来控制高工艺压力并最大限度地减少基板上的热印迹。这种绝缘技术旨在有效地稳定腔室内部，减少温度、功率密度和压力的波动，从而对蚀刻或灰化过程产生不利影响。LAM RESEARCH FLEX DS具有简单的模块化设计,能够轻松进行维护和故障排除以减少停机时间。可以在无需工具的情况下打开加工室，通过室内化学输送和排气疏散安全地处理危险气体。系统还有一个内置的诊断程序,可以在可能的性能问题变得关键之前对其进行检测。总体而言,FLEX DS是一款高级蚀刻器/asher,能够执行各种过程,并具有精确的控制和优异的性能。它高效、可靠、安全，旨在满足研究项目的需要。