二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9351457 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一款完全集成的干蚀刻/灰烬设备，专为先进的半导体加工应用而设计。FLEX DS系统提供高均匀性、重复性和吞吐量,以提供尽可能最低的浪费,同时保持设备生产的最高产量。该单元是一个模块化单元，能够在每个工件上提供具有均匀性和可重复性的多个过程序列。它是为最佳的器件产量和生产率而设计的，在最具挑战性的光刻和沉积过程中提供了优越的效果。该机采用先进的蚀刻室设计，提供了紧凑的占地面积，改进了热均匀性，提高了吞吐量，优化了工艺参数。腔室配有两个集成的3-D感应耦合等离子体（ICP）源，它们提供了优于多个晶片基板的覆盖范围。基板支撑也具有高度可调性，允许使用不同的基板尺寸和形状。该工具能够以一个序列提供四个独立蚀刻和三个沉积过程，从而缩短了过程周期时间，提高了整体吞吐量。LAM RESEARCH FLEX DS资产还具有直接驱动电机技术,可对整个工件进行高精度、可重复的运动控制。这保证了蚀刻速率的均匀性、沉积的均匀性和附着力的均匀性。此外，该模型还配备了先进的计量和反馈控制系统，可实时测量和控制蚀刻和沉积速率。这允许用户为工件选择最佳工艺参数,以确保结果一致。综合供气设备还提供精确的气体比控制和注入不同气体溷合物和浓度的能力。FLEX DS是一个完整的蚀刻/灰系统，设计用于先进的半导体加工，提供卓越的性能和可靠性。它是一种经济高效的高密度设备制造解决方桉,可确保优化的设备产量和生产率。