二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9358667 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一款先进的蚀刻/asher设备,旨在满足各种需求。这台机器是高度模块化的，可以根据客户的确切需求量身定制，包括与大多数化学类型的兼容性。它结合了先进的双级蚀刻技术,提供精密蚀刻和灰化功能,并具有出色的轮廓控制。该系统专为高吞吐量而设计,具有卓越的多功能性和模块性。在前端，该单元集成了一个物料处理室和优化的晶圆装卸系统，以确保最大的负载生产率。它可以同时处理帧和触点传输,并允许输出托盘的多种配置,以及与标准托盘和盒式磁带尺寸的兼容性。在后端，机器提供了全面的蚀刻和灰化技术。其特点包括：化学加工室、板式加热器工具、危险废物处理室、文丘里真空泵、工艺控制单元、先进的气体控制系统，以及其他几种基本的工艺控制功能。资产还包括完整的配方库，允许用户根据确切的工艺需求自定义蚀刻和灰化参数。食谱按类别分类，因此用户可以根据自己的特定需求快速找到最佳食谱。FLEX DS也是出于安全考虑而设计的。它包括复杂的安全功能，如远程监测过程监测，以确保操作员的安全。此外，该模型还包括一个高度可见的采样端口，以维护安全和清洁的环境，并设计为符合全球工人安全法。LAM RESEARCH FLEX DS是一款先进的蚀刻/asher设备，适用于广泛的应用。它提供卓越的多功能性、精密蚀刻/灰化、高吞吐量和全面的配方库。此外,它的设计考虑了安全性,并具有复杂的安全特性。