二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9401893 待售
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LAM RESEARCH FLEX DS（前称"FLEX Asher"）是一种高级蚀刻/灰化解决方桉，为广泛的蚀刻和灰化应用提供精确、可重复的结果。该平台由LAM RESEARCH设计和制造,利用先进的控制技术来确保各个流程模块在严格的流程参数范围内始终运行。这是半导体、内存和光掩码设备故障分析等应用中的关键功能,因为它消除了由于蚀刻或灰化不一致而导致成本高昂的故障的可能性。FLEX DS是一个广泛配置的平台,它提供了一种支持从射频溅射到高功率等离子体灰烬等各种应用的功能。它被设计成工作与广泛的基材，从广泛的材料。它提供了快速转换、16位感光器和晶片板,用于晶片卡带到卡带加载,以及自动工艺发现功能,以确保用户定义的配方能够针对不同的材料、厚度和材料进行定制。该平台采用LAM RESEARCH自动化流程优化技术，确保流程优化和可重复性达到最高水平。自动化过程优化技术使用专有算法来实时密切监视和控制过程参数。这有助于微调蚀刻或灰化过程,使用户能够达到最高精度。LAM RESEARCH FLEX DS还支持先进的清洁解决方桉。自动清洁和干燥系统可确保表面的清洁度,使晶片在处理后更容易、更快速地传输到另一个模块或存储它们。该平台将诊断程序集成到系统中,从而对任何流程问题进行可靠、高效的故障排除。流程协议在系统中存储和验证,确保所有输出都是可追踪和可靠的。除了这些核心功能，FLEX DS平台还提供灵活性和多功能性。这包括多功能模块、用于多级处理的可编程运动序列和晶圆传输，以及软件控制参数设置，以便在高度复杂的应用中实现最大程度的过程优化。凭借这些特点，LAM RESEARCH FLEX DS非常适合半导体、内存和光掩模器件故障分析行业的研发和生产应用。
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