二手 LAM RESEARCH Flex FS #9284287 待售

LAM RESEARCH Flex FS Asher（Etcher）是一种先进、灵活的蚀刻和清洁设备，旨在高效去除蚀刻和清洁光致抗蚀剂、通用抗蚀剂、聚合物和其他薄膜沉积物。新系统的设计能够显着降低交货时间和过程的可重复性，并具有卓越的问题和特性保证。获得专利的设计最大限度地减少了可以随时间改进和维护的碎片和工艺性能,提供了最高水平的吞吐量和工具利用率。Flex FS Asher产品指定了一种双驱动电机设计,可提供卓越的一致性和过程一致性。该设备与专有的高分辨率、高密度成像机集成在一起,可实现高级现场实时配置文件监控。其他功能还包括高级高电流水平控制、高效磁性压缩机、板载沉积、蚀刻控制以及高速率沉积和清洁、自动采样等选项。LAM RESEARCH Flex FS定义明确的模块化体系结构为客户提供了更大的战略灵活性,能够在需要时升级到扩展的化学和工艺。该工具提供了可为前沿设计定制的工具。Flex FS Asher独特的资产架构师能够实现高效、可靠和可重复的过程,从而实现最高级别的吞吐量和可靠性。它的灵活性也有助于降低制造成本，因为LAM RESEARCH模型可以以较少的步骤执行许多复杂的蚀刻配方。内置监控允许您在制造过程的早期快速分析过程的统一性、比较结果和识别潜在问题。通过优化脉冲设计，LAM RESEARCH Flex FS Asher利用配方驱动的高压脉冲等离子体最大限度地减少了对基板的损坏，最大限度地减少了静电充电的影响，减少了工艺变化，改善了清洁。该设备旨在去除图样化的光刻胶、聚合物和其他薄膜,包括特征尺寸小于180 nm的薄膜,而不引入正向和反向偏置。Flex FS等离子体系统消除了苛刻的化学浴或高压冲洗的需要，节省了时间和资源。LAM RESEARCH Flex FS是一个先进的蚀刻单元，旨在满足对先进设备进行快速、经济高效处理的最严格要求。FS Asher机器通过简化蚀刻工艺、加快上市时间和提供高水平的均匀性,优化了设备生产,以获得最佳产量和上市时间。