二手 LAM RESEARCH FLEX FX EFEM #9270663 待售

LAM RESEARCH FLEX FX EFEM是一款高性能、大面积的蚀刻器/asher,旨在实现精确可靠的处理。它具有多轴闭环运动设备，具有快速、低惯性级，允许高吞吐量处理和灵活操作，可重复结果。该系统独特的设计使目标范围更广,周期更短。FLEX FX EFEM配有一个多区域气体面板和两个腔室隔离门阀，以实现快速、精确的蚀刻和灰化步骤。配备低压射频（LP-RF）发生器的等离子体源产生与气体种类相互作用的磁场，产生等离子体。该等离子体随后被用于从目标基板表面去除或修饰有机和无机材料。该单元还配备了一个高分辨率的原位监视器，可以测量不同蚀刻和灰化区域的材料变化。该监视器基于晶片光谱，能够实时反馈过程的进展。此外，前视光学照相机检查基板的状态，以确保基板在目标上的精确转移和对准。该工艺室包括全面的蚀刻和灰化配方，以及优越的均匀性控制工具。LAM RESEARCH FLEX FX EFEM还提供可变腔室和舞台压力控制，以及Etch和Ashers腔室的先进温度控制资产，为各种材料提供最佳条件。FLEX FX EFEM具有快速、精确和可重复的操作,是降低成本和缩短制造时间表的强大工具。其闭环运动控制模型和全面的配方库确保流程能够得到优化和仔细监控，提高产量并减少误差。LAM RESEARCH FLEX FX EFEM具有高度可配置的设计和高级控制功能,是蚀刻或灰烬处理应用程序的理想工具。