二手 LAM RESEARCH FLEX FX EFEM #9270875 待售

LAM RESEARCH FLEX FX EFEM是为精密蚀刻和其他相关应用而设计的一种前沿蚀刻和灰化设备。它具有强大的高级设计,是各种应用的理想工艺工具,如高长宽比蚀刻、热纳米蚀刻和等离子体纳米蚀刻。它包括一个集成的真空辅助能力，以提高过程的可重复性。FLEX FX EFEM平台专为处理当今高级蚀刻和灰化应用的要求而设计。LAM RESEARCH FLEX FX EFEM的先进设计可以处理范围广泛的高蚀刻长宽比、大面积、紧密的图像配准精度和高重复性。它还具有强大的闭环控制系统，可以连续监控和维护流程参数，以满足或超过流程要求。这让单位达到了性能的最高标准。FLEX FX EFEM还包含一个板载的蚀刻工具和工艺强国。它的多层材料可以从金属、陶瓷、绝缘体到有机和半导体材料。这种广泛的材料为用户提供了处理不同晶片的灵活性，并保证每次都能达到高精度。此外，该机的高级设计集成了保护和清洁系统，以保证适合最佳蚀刻和灰化工艺的环境。LAM RESEARCH FLEX FX EFEM还包括其他专业功能以满足独特的要求。获得专利的等离子体线角和栅格角分布优化等离子体反应性的最高水平的蚀刻精度和可重复性。它还具有先进的过程控制和用户定义的设置输入，以便对过程参数进行更好的控制。总体而言,FLEX FX EFEM是一种高级蚀刻和灰化工具,具有高端特性和功能。它强大的设计和多层材料让用户能够蚀刻不同的晶片，并保证精确和可重复的结果。其板载保护和清洁系统保证了高质量的工艺环境，而其工艺控制和专业特点则提供了全面的工艺控制，并确保了最高级别的蚀刻和灰化精度和可重复性。