二手 LAM RESEARCH Flex Fx #9270876 待售

LAM RESEARCH Flex Fx（蚀刻器/asher）是半导体行业在灰化和蚀刻能力方面领先的一步。其紧凑的占用空间和多种配置使其成为许多不同集成方桉的选择。Flex Fx是为了在蚀刻和灰化氧化物层方面的精度和均匀性而设计的,同时保持严密的工艺和温度控制,这对于精确优化光刻技术和先进的器件形成至关重要。LAM RESEARCH Flex Fx是专为大批量生产而设计的，并提供无与伦比的吞吐量和广泛的HF化学。蚀刻器/asher的源代码可用于负载锁定和固定安装配置,从而在不同类型的基板上具有很高的灵活性。强大的射频发生器为精确的过程调整提供了高效的等离子体控制。N2/O2/He气环提供均匀、严密的过程控制.闭环气源系统还保持稳定的压力平衡和气流，以确保稳定的工艺结果。Flex Fx配有一个大的透明视腔，最多支持六个8英寸晶圆，提供最大的处理效率。特别设计的顶层保护环有助于屏蔽腔室顶部,以提高可靠性和可重复性。该设备还具有两个可选的CoolPAS交付系统,可增加流程灵活性和可重复性。LAM RESEARCH Flex Fx以当今要求苛刻的半导体项目所需的速度和精度提供可靠且可重复的工艺。其强大的构建和高端功能使其非常适合任何开发或生产环境。