二手 LAM RESEARCH Flex Fx #9311093 待售

LAM RESEARCH Flex Fx是为聚酰亚胺、氧化物、金属和玻璃等柔性基板而设计的先进的多级蚀刻器/asher。其独特的设计允许用户使用单个腔室蚀刻和/或粉刷多种材料，包括Al、Ga和Si。Flex Fx配备了多区域等离子体源，可以独立控制蚀刻或灰化的类型，以及精确调整和调整蚀刻/灰化电压、电流和气体化学。LAM RESEARCH Flex Fx还有一个自动化的"SmartMow"系统，用于关键模式的注册和对齐。Flex Fx具有集成的两区热处理功能。加热区辅以旁路冷却能力，可达到高达20°C/秒的温度斜坡速率，从而实现高速率蚀刻和基板定向越野等时间临界过程。极快的冷却速率使多个沉积过程能够快速连续地进行。用户还可以选择覆盖特定流程要求的坡度速率。LAM RESEARCH Flex Fx有一系列电荷限制器，以确保样品受到合理、均匀的功率分配，提供均匀、高质量的蚀刻/灰化结果。它还配备了先进的、与田间有关的气体分配系统，由液晶屏进行监控，以获得可靠的性能。Flex Fx附带了一个全面的软件包,包括直观的图形用户界面。用户可以对控制单元进行编程以执行自定义配方,而自动化功能则允许在蚀刻和灰化过程之间自动切换。LAM RESEARCH Flex Fx还兼容多个网络协议系统，确保与其他自动化设备的无缝集成。总之，Flex Fx是一种先进的多级蚀刻器/asher，非常适合在柔性基板上产生高质量的结果。它的高级功能能够精确控制蚀刻/灰分参数,而其内置的自动化功能则有助于快速的过程切换和快速的吞吐量。